PHYTRON VSS 57.200.1,2-GPL-HV-KTC-4Lp-1.5m 完整產品介紹
一、品牌基礎
PHYTRON(菲創,德國慕尼黑原廠)全球極端工況特種步進電機龍頭品牌,專注高真空、高低溫、防輻射、半導體腔體專用兩相混合式步進電機,整機德國制造,低出氣材料不污染真空腔體。
二、完整型號分段釋義
VSS 57.200.1,2 - GPL - HV - KTC - 4Lp - 1.5m
VSS:標準真空兩相步進電機系列,適配真空腔體內部直接安裝
57:電機法蘭尺寸 57mm(NEMA23 標準大功率規格)
200:每轉 200 整步,標準步距角 1.8°,步距精度 ±5%
1,2:額定相電流 1.2A
GPL:集成VGPL 微型精密行星減速齒輪頭,低背隙、真空專用無揮發潤滑,大幅提升輸出扭矩
HV:High Vacuum 高真空等級,耐受真空度最高 10?? hPa;整機 200℃高溫烘烤除氣,低出氣絕緣材料;工作溫度區間 - 20℃~+200℃,抗輻射 10? J/kg
KTC:內置 Pt100 繞組溫度傳感器,實時采集電機溫度,真空密閉腔體過熱保護
4Lp:4 芯低放氣真空專用屏蔽出線
1.5m:配套真空穿墻專用線纜總長 1.5 米
三、核心電氣機械參數(VSS57.200.1,2 本體)
相數:兩相雙極混合步進
額定相電流:1.2 A
適配驅動電壓:70 VDC(57 及以下 VSS 系列標準驅動電壓)
基礎保持扭矩:約 0.75 N?m,加裝 GPL 行星減速后扭矩成倍放大
轉子慣量:約 650 g?cm2
整機重量:約 1.4kg(不含線纜)
軸承:真空干式低揮發潤滑軸承,適配長期真空無對流散熱工況
排氣孔設計:機身預留除氣孔,杜絕腔體內部積氣析出污染物
四、核心產品特性
HV 高真空適配整機出廠高溫烘烤除氣,所有絕緣、潤滑材料低出氣,可直接放置真空腔內部,無需復雜真空穿軸密封結構,減少腔體粉塵污染。
一體化行星減速 GPL微型行星齒輪集成于電機輸出端,縮小整機體積、降低轉速、放大輸出扭矩,適合真空腔體內重型載臺、靶材旋轉等高負載定位。
內置 KTC 測溫保護真空環境無空氣對流散熱,電機極易過熱;Pt100 實時測溫反饋控制系統,超溫自動停機保護繞組,延長設備壽命。
1.5 米低放氣 4 芯線纜專用真空屏蔽電纜,適配真空法蘭穿墻接頭,無有機揮發物污染真空環境,布線長度 1.5 米適配多數標準腔體尺寸。
寬溫抗輻射-20℃~+200℃穩定運行,可用于輻照、航天、粒子實驗室等強輻射工況。
五、典型應用場景
半導體真空鍍膜、PVD/CVD 設備晶圓重載位移臺
電子顯微鏡、質譜儀高真空腔體樣品載臺驅動
航天、核物理輻射環境精密定位機構
大型光學真空腔體、靶材旋轉 / 角度調節機構
實驗室高低溫真空試驗平臺重型傳動執行單元



